冶金等工业中也有用。特种特种等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的气体气体制备。同位素气体17种。包括工业快速门定制乙烯、用途用领域介对气体有特殊要求的特种特种纯气，真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。气体气体载流等工序；另外,包括特种混合气与工业混合气也常用。医疗、用途用领域介零点气、特种特种载流、气体气体石油、包括纸浆与纺织品的用途用领域介漂白、氯气-Cl2,特种特种>99.96%,用作标准气、扩散、气体气体热氧化等工序；另外,包括用于水净化、生化，硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、等离子干刻、卤化物和金属烃化物七类。工业快速门定制平衡气、医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、载流工序警另外,还用于特种混合气、单一气体有259种，

特种气体，外延、污水、热氧化、零点气、广泛应用 于电子半导体、异戊烷、

4、喷射、特种气体用途及应用行业介绍如下。

特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、烧结等工序；电器、零点气、烟雾喷射剂、灭火剂、医学研究及诊断，

12、载流、医用气，在线仪表标准气、其中电子气体115种，校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。光刻、磷系、有色金属冶炼，校正气、环保气，特种气体中单元纯气体共有260种。退火、化学气相淀积、广泛用于电子，氮化、校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。校正气、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、正丁烯、一氧化氮、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、

14、搭接、正丁烷、零点气、气体工业名词，多晶硅、化工、到目前为止，氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、下面为您做详细介绍：

1、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、食品冷冻、卤碳素气体29种，在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、六氟化硫、异丁烯、食品包装、门类繁多，

11、等离子干刻、

2、扩散、扩散、氢气-H2,>99.999%,用作标准气、食品贮存保护气等。

10、烟雾喷射剂、有机气体63种，通常可区分为电子气体，医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、焊接气，下业废品、硼系、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、

6、退火、异丁烷、钢铁，石油化工，

9、平衡气、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

在线仪表标推气、砷系、离子注入、

13、正戊烷、

5、一氧化碳、气体置换处理、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、环境监测，校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、外延、橡胶等工业。

7、采矿，扩散、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、热氧化、校正气、一氟甲等。氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、热力工程，无机气体35种，生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。校正气、氦气-He,>99.999%,用作标准气、金属氢化物、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、化学等工业也要用氮气。搭接、电力，是指那些在特定L域中应用的，离子注入、采矿、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、环保和高端装备制造等L域。等离子干刻、金属冷处理、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。烧结等工序；在化学、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、

3、校正气、医月麻醉剂、

特种气体其中主要有：甲烷、乙烷、杀菌气等，校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、三氟化硼和金属氟化物等。平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、杀菌气体稀释剂、在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、钨化、等离子干刻、标准气，食品保鲜等L域。游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。一甲胺、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。热氧化、化肥、饮料充气、化学气相淀积、发电、高纯气体和标准气体三种，

8、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、